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聚合物材料的洁净度评价——材料进入半导体行业的“门槛”
来源：
北化检测
作者：
北化检测
在半导体产业向更高纯度持续迈进的背景下，聚合物材料与组件的洁净度验证已成为保障制程良率的关键环节。SEMI F57作为国际半导体产业协会（SEMI）发布的核心标准，为超高纯聚合物材料及组件设定了严格的性能要求，其检测对象“聚合物材料”，正是北化检测的核心优势。
北化检测有两个国家中心，分别是：国家化学试剂质量检验检测中心、石油和化学工业橡塑与化学品质量监督检验中心（北京）。二者能够深度融合、协同发力，形成“化学纯度+材料性能”的合二为一的国家级检测能力。
SEMI F57 Specification for polymer materials and components used in ultrapure water and liquid chemical distribution systems （超纯水及液体化学品分配系统中使用的高纯度聚合物材料与组件规范）规定了应用于集成电路领域的聚合物材料和最低性能要求，是一项材料进入半导体行业的“门槛”。这些聚合物材料包括：PEEK（聚醚醚酮）、PFA（全氟烷氧基树脂）、PP（聚丙烯）、PTFE（聚四氟乙烯）、PVC（聚氯乙烯）、PVDF（聚偏氟乙烯）、橡胶O型圈等。
这个方法需要将聚合物材料先经过清洗，然后浸泡在85℃的超纯水中，持续168小时。高温环境用于模拟并加速材料中污染物析出的过程。对浸泡后的液体进行分析，涉及金属及元素、离子和总有机碳检测。
金属及元素检测：中心配备电感耦合等离子体质谱仪（ICP-MS），可对铝、锑、砷、钡、硼、镉、钙、铬、铜、铁、铅、锂、镁、锰、镍、钾、钠、锶、钛、锡、钒、锌等金属及元素进行高灵敏度定量分析，检测精度可达ppt级别，完全覆盖SEMI F57标准中规定的金属污染限值要求。
阴离子及铵根离子检测：中心配备离子色谱仪（IC），可检测铵根离子、溴化物、氯化物、氟化物、硝酸盐、亚硝酸盐、磷酸盐、硫酸盐等8种关键离子。
总有机碳（TOC）检测：中心配备TOC分析仪，可对总有机碳进行检测。
作为国内化学试剂与材料检测领域的“国家队”，北化检测拥有得天独厚的双重基因。
国家化学试剂质量检验检测中心代表着微观的极致。其核心能力在于万亿分之一（ppt级别）的痕量检测。中心凭借先进的检测设备及百级洁净实验室环境，长期致力于攻克极低含量的检测难题。这种对洁净度的极致追求，是保障痕量检测能力基石。
则代表着宏观的沉淀。凭借在塑料和橡胶领域多年的深耕，中心对高分子聚合物材料的热力学性能、机械强度以及长期老化行为有着深刻的理解。从聚合物的选型、改性到成型工艺的评价，中心积累了庞大的材料性能数据库，是聚合物应用领域的权威机构。
北京北化检测认证有限公司（石油和化学工业橡塑与化学品质量监督检验中心（北京），国家化学试剂检验检测中心）
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